小型圧力トランスデューサおよびスイッチ

コンパクトな Baratron® 静電容量マノメータは、スペースが限られた用途に最適です。コンパクトな圧力トランスデューサは圧力に比例したアナログ出力を提供し、コンパクトな圧力スイッチは圧力に基づいてリレー出力を提供します。

Micro-Baratron® 圧力トランスデューサー

コンパクト圧力スイッチ

流量比コントローラ

DELTA™ フロー比コントローラ (FRC) を使用すると、プロセス パフォーマンスの最適化が簡単になります。エッチング、ストリッピング、PECVD などのさまざまなフロー分割アプリケーションで広く使用されている DELTA™ フロー比コントローラ (FRC) を使用すると、プロセス チャンバー内のさまざまなゾーンにガスまたはガス混合物を分配できます。

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DELTA II 2ゾーン流量比コントローラ

3 製品

DELTA III 3ゾーン流量比コントローラ

2 製品